Sieger Mittelstand Präziseste Lasersysteme der Welt

Der Dortmunder Optikspezialist Limo fertigt die derzeit präzisesten Lasersysteme der Welt.

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Limo-Manager Aschke, Lissotschenko, Harte, Mikrolinsenträger Die Laserspezialisten aus Dortmund lieben hoch hängende Früchte Quelle: Michael Dannenmann für WirtschaftsWoche

Wenn Intel, AMD oder Infineon künftig Höchstleistungs-Mikroprozessoren mit Leiterbahnen herstellen, die 2000-mal feiner sind als ein menschliches Haar, dann ist ein Bauteil der Dortmunder Limo Lissotschenko Mikrooptik entscheidend daran beteiligt. Denn die Westfalen haben ein innovatives Lasersystem entwickelt, welches das tief ultraviolette Licht des Lasers mit raffiniert geformten Linsen zähmt und auf diese Weise zu Höchstleistungen anspornt. Ohne diese Technik, sind sich Experten einig, werden sich die Computerchips der nächsten Generation nicht herstellen lassen.

Limo ist der zweite Träger des Innovationspreises der deutschen Wirtschaft, der die Chipfertigung mit einer neuen Technologie einen großen Schritt voranbringt. Im Jahr zuvor war Carl Zeiss SMT für eine unvorstellbar präzise arbeitende und dabei tonnenschwere Optik zur Belichtung der Wafer ausgezeichnet worden, auf denen die vielfältigen Schichten der Chips durch Ätzen aufgebaut werden.

Limo ist weltweit das einzige Unternehmen, das Mikrolinsen in beliebigen Formen herstellen kann. Was sich für Laien wenig aufregend anhört, elektrisiert Fachleute: Formen, die sich mit normalen mathematischen Verfahren nicht darstellen lassen, sind eine gewaltige Herausforderung. Der große Aufwand lohnt sich allerdings. Denn Laser emittieren zwar gerichtetes Licht. Doch zunächst muss der Lichtstrahl in Form gebracht werden, damit er als Werkzeug – etwa zum Schneiden oder Schweißen – eingesetzt werden kann. In den meisten Fällen reicht es aber nicht aus, ihn fein zu fokussieren. Mal fordern die Anwender einen linienförmigen Strahl, damit sie zwei Hälften eines Bauteils in einem Arbeitsgang zusammenschweißen können. Andere hätten gern ein eher sanftes Laserlicht, um die Oberflächen durch kurzzeitiges Erwärmen zu härten.

„Wenn ein Kunde mit einem Fertigungsproblem zu uns kommt, analysieren wir es und errechnen eine Lösung“, sagt Vitalij Lissotschenko, President des Unternehmens. „Und dann melden wir mal wieder ein Patent an“, fügt er schmunzelnd hinzu. 82 Patente hat sich das Unter- nehmen bereits gesichert, weitere 280 sind beantragt.

Lissotschenko gründete das Unternehmen vor gut 15 Jahren in Paderborn gemeinsam mit Joachim Hentze, der inzwischen wieder aus dem Unternehmen ausgeschieden ist. Der gebürtige Russe Lissotschenko war zuvor Professor in der Ukra‧ine. Dort hatte er ein Verfahren zur Politur von Mikrolinsen entwickelt – der Ausgangspunkt für die Firmengründung. „Wir haben später erkennen müssen, dass Mikrooptik allein nicht reicht“, sagt er. Das Unternehmen, das mittlerweile nach Dortmund umgezogen war, verlegte sich deshalb auf die Entwicklung und Herstellung kompletter Systeme. „Das“, sagt Marketing-Chef Paul Harten, „war die Initialzündung.“ Und Chefentwickler Lutz Aschke ergänzt: „Wir mussten feststellen, dass die niedrig hängenden Früchte in der Lasertechnologie schon alle gepflückt waren.“

Die Spezialisierung auf die hoch hängenden Früchte – womit Aschke technisch anspruchsvolle Komplettlösungen meint – hat das Unternehmen kräftig wachsen lassen. Heute setzt Limo mit 220 Mitarbeitern jährlich knapp 26 Millionen Euro um.

Und das Wachstum geht weiter. Laser mit höchster Strahlqualität („Das können nur wir“, behauptet Lissotschenko) werden zunehmend bei der Herstellung von Flachbildschirmen, Solarzellen, Mikroprozessoren und Speicherchips eingesetzt. Damit reduziert sich der Bedarf an ätzenden Chemikalien, und die Ausschussquote sinkt. „Insgesamt verringert unsere Technik die Produktionskosten“, sagt Lissotschenko. Zudem weisen die Lasersysteme aus Dortmund den höchsten Wirkungsgrad auf – in Zeiten explodierender Energiekosten ein weiteres starkes Argument.

Zu den jüngsten Projekten der Dortmunder zählt eine Anlage, die hauchdünne Schichten aus amorphem, also ungeordnetem Silizium in kristallines Material umwandelt. Das geschieht in riesigen Öfen, die viel Energie verbrauchen – oder unter einem speziell geformten Laserstrahl, der über die Oberfläche streicht. „Die Energieeinsparung ist enorm, weil nur die hauchdünne Siliziumschicht erhitzt wird, nicht das Strukturmaterial“, sagt Aschke.

Die Technik entwickelt Limo gemeinsam mit dem Institut für Photonische Technologie in Jena. Sie könnte die Solartechnik einen entscheidenden Schritt voranbringen. Denn durch nachträgliches Kristallisieren verdoppelt sich der Wirkungsgrad einer Solarzelle, was die Produktionskosten beinahe halbiert. 

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