In den Lagern von Süss Microtec in Garching bei München stehen Maschinen im Wert von einigen Millionen Euro, die eigentlich schon längst bei den Kunden des Unternehmens sein sollten. Aber zumindest, sagt Burkhardt Frick, der Chef von Süss Microtec, habe es in den vergangenen Wochen eine „positive Entwicklung“ gegeben. Exportware für China werde nach und nach von den Behörden als unbedenklich eingestuft und könne nun ausgeliefert werden. „Wir hoffen, dass das so bleibt“, sagt Frick. Denn die ersten Kunden hätten bereits damit gedroht, Aufträge zu stornieren, wenn die bestellten Maschinen nicht spätestens im Januar geliefert würden.
Süss Microtec stellt Maschinen für die Chipindustrie her und leidet unter dem „Chip War“ zwischen den USA und China. Weil die Amerikaner China von hoch entwickelten Halbleitern abschneiden wollen, weil diese womöglich auch für militärische Zwecke genutzt werden und nun auch die deutsche Bundesregierung Exporte nach China viel strenger prüft als noch vor einigen Monaten, stapelten sich bei Süss Microtec die Maschinen. Den Mittelständler, ein deutsches Urgestein der Halbleiterindustrie mit zuletzt knapp 300 Millionen Euro Umsatz im Jahr und rund 1200 Beschäftigten, traf das hart: Ein Drittel des Umsatzes macht das Unternehmen mit Kunden aus China.
Frick intervenierte, genauso wie Vertreter anderer Unternehmen. Es kam zu einem Treffen im Kanzleramt. Danach entspannte sich die Lage. Nach Fricks Wahrnehmung schicken die Zollbeamten nun weniger für China bestimmte Sendungen an das Bundesamt für Wirtschaft und Ausfuhrkontrolle (BAFA), damit diese eine gründliche Einzelfallprüfung vornimmt. Paradoxerweise liege nun oft schon eine Exportgenehmigung für Maschinen vor, die noch gar nicht fertiggestellt seien, während die Genehmigungen für Anlagen, die schon seit Monaten im Lager stehen, erst nach und nach kämen.
Kann ein Unternehmen wie Süss Microtec nicht liefern, kann das weitreichende Folgen nicht nur in China, sondern auch in anderen Ländern der Welt haben. Letztlich bremst sich Deutschland womöglich auch selbst aus. Denn die Chips, die mithilfe der Maschinen aus Bayern hergestellt werden, sind ein globales Produkt. „Im Laufe seiner Produktion wandert ein Chip im Durchschnitt fünfmal um den Globus“, sagt Hermann Rapp, Technologieexperte im Analystenteam der Deutschen Bank. Neben den USA, Taiwan und weiteren Ländern in Asien seien Großbritannien und Deutschland führend beim Chipdesign. Die USA, Japan und die Niederlande lieferten zahlreiche Spezialchemikalien. Vietnam, Malaysia, China und Indien seien wiederum Spezialisten dafür, halbfertige Chips mit einer Umhüllung und mit Anschlüssen zu versehen und sie zu testen. Lieferverzögerungen wegen ausstehender Unbedenklichkeits-Bescheinigungen seien für einige seiner Abnehmer eine Katastrophe, sagt Frick. „Im Zweifelsfall können die nicht produzieren.“ Im Extremfall könnte dies wiederum bedeuten, dass hierzulande Bänder stillstehen, weil die nötigen Chips nicht geliefert werden.
Maschinen, wie sie Süss Mictrotec herstellt, bereiten Siliziumscheiben darauf vor, dass winzige elektronische Bauteile aufgebracht werden können. Chiphersteller weltweit brauchen solche Maschinen – umso mehr, je größer der Hunger insbesondere nach superschnellen Halbleitern etwa für Smartphones oder die Medizintechnik ist. Die Mitarbeiter von Süss Microtec stellen zudem Maschinen her, die dafür sorgen, dass fertige Chips später mit Applikationen in den Endgeräten verbunden werden können.
Der neue Chef Frick kommt von ASML, war dort zuletzt neun Jahre lang Vice President und für das Marketing zuständig. Der niederländische Konzern ist ein Gigant unter den Chipausrüstern, finanziell, aber auch, was die Größe und das Alleinstellungsmerkmal seiner Belichtungsmaschinen betrifft. Die sind nicht selten so groß wie ein Einfamilienhaus und gehen an die Grenzen des physikalisch Möglichen. Kaum einer der namhaften Chiphersteller will auf Technologie von ASML verzichten. Der Jahresumsatz soll bis 2025 von zuletzt gut 21 Milliarden Euro auf 30 bis 40 Milliarden Euro steigen.
Süss Microtec ist um einige Nummern kleiner, aber aus der Chip-Lieferkette ebenfalls nicht wegzudenken. Denn wenn ASML eine Innovation auf den Markt bringt wie sein modernstes Gerät, das extrem ultraviolettes Licht durch den Beschuss winzigster Tropfen Zinn mit Laserstrahlen erzeugt, folge auch Süss Microtec dieser Innovation, sagt Frick. „Es sind die Kunden von ASML, die unsere Maschinen brauchen, die im Zusammenspiel mit den ASML-Scannern den Reinigungsprozess vollziehen.“
